近日，各人首先的AMHS开辟和软件举座处置决策提供商苏州新施诺半导体开辟有限公司（以下简称“新施诺”）受邀参展第十三届半导体开辟与中枢部件及材料展（CSEAC）。本届CSEAC展汇注焦半导体上游制造行业。展会时代，新施诺展台蛊惑了产、学、研、媒体等多方和顺。
在苏州高新区的新施诺半导体开辟有限公司的总部工场里，天花板上的天车沿着犬牙交错的轨谈往来快速迁移，承担着吊起、传送、存储、再传送以及开辟测验时的物料搬运等责任。手脚自动物料搬运系统（AMHS）中最中枢的搬运开辟之一，天车场地的总计这个词AMHS系统涵盖了搬运、通讯、存储、净化等种种硬件装备和相应软件，其利用范围链接半导体分娩的前谈、中谈和后谈工序，如今已成为大王人12英寸半导体晶圆厂的必备建立。
频年来，跟着半导体晶圆厂由8英寸分娩线向12英寸分娩线升级，工艺历程复杂度握住加多，传统的东谈主工搬运形式在终端、差错率、洁净度等方面已难以满足分娩需求。此外，东谈主工搬运引起的升沉也会影响晶圆良品率。因此，不少工场但愿能有一套速率更快、搬运量更大、相识性更高又兼具所占空间更小、升沉更小的搬运系统。
“新施诺是国内唯独告成在客户工场收场跨越200台车利用案例的国产天车系统供应商，本体利用轨谈已达到20公里以上，同期已在模拟测试环境中具备单厂超1000台天车同期转换的鸿沟。”在苏州新施诺半导体开辟有限公司总司理王宏玉看来，新施诺AMHS的迭代升级契合了半导体开辟国产自主研发缔造谋略，当今进化到了第五代。
谈及新施诺第五代天车系统的时代亮点和上风时，王宏玉暗意，为了减少搬运升沉激发的晶圆龙套，搬运重迭精度王法在1mm以内，搬运过程载具振动峰值不跨越0.5G，且要道取放过程中实行多重看护；天车启动速率提高至每秒5.3米，执取时分仅需数秒，就算是长距离跨区域传送，不息整周期也王法在3分钟内……通过这些时代擢升，新施诺的AMHS系统大致在安全、高效、相识的前提下，缩短运营本钱，加快国产化替代的程度。
比如在半导体工场内的天车系统在天花板上有序启动，是硅片和晶圆制造历程的贫瘠构成部分，链接总计这个词分娩工序。一朝AMHS系统故障，将影响物流传送，严重的话，可能会导致整厂大面积分娩停工待料。因此软件饰演着AMHS系统“大脑”的扮装，幸免了天车在输送过程中的拥挤时势，确保了物料运载的最优旅途遴荐。
“大鸿沟智能制造的程度越来越高，需要AMHS系统更高效、更智能化、更量入计出。除了半导体晶圆厂，面板工场及新动力电板厂也在渐渐使用全套AMHS系统。”王宏玉暗意，“后续公司还将握住通过国表里协同研发及供应链整合，升级AMHS系统处置决策。”
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